真空耙式干燥机常用的真空系统类型有往复式真空泵、水环式真空泵、旋片式真空泵以及罗茨真空泵机组等。 往复式真空泵通过活塞在气缸内的往复运动改变容积，实现抽气。其抽气量大、真空度较高，可达 0.133kPa。适用于对真空度要求较高，且抽气量较大的干燥场景，如化工原料的干燥，这类原料往往需要在深度真空下快速去除水分和溶剂。但该真空泵结构复杂，易损件多，维修成本高。
水环式真空泵以水作为工作液，通过叶轮旋转形成水环，改变工作腔容积来抽气。它结构简单，工作可靠，能抽除含尘、含水的气体，在制药行业中，处理一些含有少量水分和杂质的物料干燥时较为适用。然而，其真空度相对较低，能耗较大，效率有限。
旋片式真空泵靠旋片在泵腔内的旋转运动来实现抽气。它体积小、重量轻，启动快，真空度高，可达 0.067kPa。在实验室或小型生产线上，对一些高精度、小批量物料的干燥应用广泛。但该泵不适用于抽除含氧量过高、有腐蚀性和尘埃的气体。
罗茨真空泵机组由罗茨泵和前级泵组成，具有抽气速率大、启动快、能在较宽的压强范围内工作等优点。在大型工业生产中，处理热敏性、高附加值物料干燥时，能快速建立真空环境，缩短干燥周期。但设备成本高，对前级泵要求也较高。
